炉管机台参数的采集与统计过程控制

摘要：

在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明.

关键词：SPC技术、参数采集、控制图

所属期刊栏目：4

分类号：TP278(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80