激光自混合干涉位移传感器研究

摘要：

为减小自混合干涉信号预处理前后的相位改变及波形畸变,提高激光自混合干涉位移传感器的测量精度,提出零相位滤波方法对自混合干涉信号进行预处理.通过对基于零相位数字滤波器的自混合干涉信号预处理算法原理的研究,利用压电陶瓷对自混合干涉位移测量系统进行标定.实验结果表明:在进行全相位谱分析算法解调相位之前,采用零相位滤波方法对自混合干涉信号进行预处理,可将激光自混合干涉位移传感器的测量误差减小到3.4 nm.

关键词：自混合干涉、全相位谱分析、零相位滤波

所属期刊栏目：26

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61503283;天津市应用基础与前沿技术研究计划青年项目15JCQNJC02400;天津职业技术师范大学预研人才启动项目KYQD14005

在线出版日期：2017-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,15