Cu纳米颗粒薄膜的飞秒激光溅射实验研究

摘要：

实验利用飞秒脉冲激光沉积Cu纳米颗粒薄膜，获得不同激光能量时溅射Cu粒子空间分布结果，并结合Matlab、Excel和Origin等软件对这些数据进行处理分析。实验结果表明：Cu纳米颗粒的空间分布遵循Anisimov气体膨胀模型，大部分的粒子主要集中在基片与溅射源中心线附近在小立体角度（θ〈30°）范围扩散。最后，实验选取合适立体溅射角度（θ≈30°），能量密度约为0．72J／cm2时，在不同曝光时间条件下溅射Cu纳米颗粒薄膜，并采用原子力显微镜（AFM）表征了膜厚变化情形，综合分析了纳米颗粒薄膜空间沉积成膜的过程和规律，为后继数值模拟分析提供了实验验证依据。

关键词：飞秒激光、脉冲激光沉积、纳米颗粒、Anisimov气体膨胀模型

所属期刊栏目：21

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60608004,1104201;天津职业技术师范大学横向项目HX08051TAHX-KF-2011-002

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29