飞秒激光深孔加工技术研究

摘要：

采用聚焦物镜与接收材料同步运动的方法,以二维平面图形式研究焦点前后脉冲的空间形态.通过改变小孔直径和小孔前后单脉冲能量,可以观察光束空间形态的变化.结果显示:脉冲能量大小只影响刻痕线宽大小;缩小掩模小孔直径时,焦点前后光束空间直径变化趋缓,甚至束腰位置也随之偏移.在选取合适参数的情况下,可成功刻划出边缘光滑的透射型金属光栅条纹.

关键词：飞秒激光、激光烧蚀、针孔模板、透射光栅

所属期刊栏目：18

分类号：TG52(金属切削加工及机床)

资助基金：天津市科技发展计划科技攻关培育项目043103911;天津工程师范学院科研发展基金项目KJ-JH2007015,KYQD06001

在线出版日期：2008-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,20