薄膜厚度对La0.8Sr0.2MnO3/TiO2PN结整流特性的影响

摘要：

采用磁控溅射法制备了La0.8Sr0.2MnO3(100nm;50nm;17nm)TiO2(70nm)异质PN结,并对其进行电学性能研究.结果显示样品均表现出很好的整流特性.并且在La0.8Sr0.2MnO3/TiO2异质PN结中,当LSMO膜厚较薄时,由于LSMO薄膜与衬底之间的较高的应力局限了载流子浓度,导致扩散电压减小.变温电流电压特性曲线显示随着测量温度的降低,扩散电压增大,这可能由于随着测量温度的变化导致界面电子结构的变化.值得提出的,异质PN结结电阻随温度变化曲线表现出单层LSMO具有的金属绝缘相变特性,并且在低温测量时,结电阻随着测量温度的降低而增大,这可能是由于宽带隙的TiO2的引入造成的.

关键词：异质结、整流、庞磁阻、薄膜

所属期刊栏目：18

分类号：TN304.2(半导体技术)

资助基金：天津工程师范学院科研启动基金[KYQD07002

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12