CMOS技术的现状与展望综述

摘要：

概述了几十年来集成电路基本单元CMOS晶体管特征尺寸的缩小以及由此带来电路性能的提高和出现的问题.其主要的挑战集中在研发成本的上升、能耗的增大和可靠性问题.阐明了驱动CMOS晶体管尺寸缩小的原因除了技术进步,更在于电路可售出成本的下降.

关键词：CMOS晶体管、半导体器件、特征尺寸缩小、集成电路、芯片

所属期刊栏目：15

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-12