微定位工作台的非线性PID控制

摘要：

为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制.利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号,提高了控制系统的鲁棒性.通过计算机仿真,验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性.

关键词：微定位工作台、弹性铰链、压电陶瓷、非线性PID

所属期刊栏目：14

分类号：TP273;TH16(自动化技术及设备)

资助基金：天津市自然科学基金013605311

在线出版日期：2004-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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