热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的特性影响

S.M.Attia吴广明马建华魏建东

同济大学;

摘要：

研究了热处理对溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响结果表明TiO2溶胶颗粒的最低结晶化温度为400℃,晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大;TiO2薄膜的厚度随着热处理温度的升高从120nm减小到47nm,相应的折射率则从1.85增加到2 3;同时,TiO2薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高从0.23降低到0.122,密度则从2.83 g.cm-3增加到3.73 g.cm-3

关键词：溶胶-凝胶法、TiO2薄膜、密度

所属期刊栏目：29

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金69978017,59802007;上海市教委资助项目JW99-TJ-03

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1327-1330