软X光激光In衰减膜的制备及测量

摘要：

通过对制备工艺的摸索,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分数的深度分布进行了分析.

关键词：In衰减膜、α能谱测厚仪、俄歇电子谱

所属期刊栏目：28

分类号：TB48(工业通用技术与设备)

资助基金：国家青年激光技术基金;国家科技攻关项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：312-315