基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量

摘要：

微电子机械系统(MEMS)谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数为MEMS器件的设计提供重要参考.提出一种基于相位相关技术的亚像素运动估计算法,可对相关拟合方法进行误差校准补偿,从而提高对物体运动的分辨力,实现纳米精度测量.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.利用扫频测量原理,获得了MEMS器件的幅频特性.实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量分辨力优于5 nm.

关键词：计量学、MEMS谐振器、动态特性、相位相关、亚像素

所属期刊栏目：42

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50505031;国家高技术研究发展计划863资助项目2006AA042327;新世纪优秀人才支持计划项目

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：549-553