MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统

摘要：

针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表明,压电陶瓷位移-电压曲线的非线性误差在轴向测量模式下小于0.102%,横向测量模式下小于0.507%.

关键词：微触觉测头、振动测试、三维测量、微机电系统

所属期刊栏目：42

分类号：TB92(计量学)

资助基金：上海市博士后基金重点资助项目07R214208

在线出版日期：2009-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：273-277