大行程压电微动台的有限元分析与实验

摘要：

设计了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电微动台,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用"推-拉"接力运动原理,实现了大的驱动力与行程.利用有限元方法对压电微动台的结构和静、动态特性进行了研究.实验结果表明,压电微动台的运动范围为11 mm,稳定性好,载物力可以达到24.5 N,最小步距小于20 nm.

关键词：压电微动台、尺蠖运动、有限元分析、静态特性、动态特性

所属期刊栏目：40

分类号：TH703.8(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50105016

在线出版日期：2007-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：821-826