基于原子力显微镜的纳米梁杨氏模量的测量

摘要：

阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁杨氏模量的理论和方法.重点解决了纳米梁杨氏模量测试技术中的3个关键问题:①宽梁条件下杨氏模量理论模型的修正;②纳米梁厚度的精密测量方法;③加载点位置相对于理想点的偏差给测试结果带来的不确定度的评价方法.实验结果表明,本测试结构硅纳米梁杨氏模量的测试值为(183.79±4.18) GPa.

关键词：纳机电系统、纳米梁、杨氏模量、原子力显微镜、弯曲测试

所属期刊栏目：40

分类号：TP206.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033109

在线出版日期：2007-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：816-820