基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量

摘要：

微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位.提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法.该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量.系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布.在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动,水平分辨力在微米范围内,离面探测极限在5 nm左右.

关键词：微结构、时间平均干涉法、离面运动、快速测量

所属期刊栏目：39

分类号：TH741.4(仪器、仪表)

资助基金：国家863计划项目2004AA404042;博士后科学基金

在线出版日期：2007-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：125-128