含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头

摘要：

为了满足对机械件、光学件和电子件等几何形貌质量控制和产品监测越来越高的要求,在动态主动调焦法测量原理的基础上,提出一种含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头的检测方法.论述了该测头通过测量参考光路和测量光路的时间差实现位移测量的测量原理及其结构,并对这种新的测量方法进行了详细的误差分析,对该光学测头及其测量系统进行了各项实验.实验表明,含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头及其测量系统的测量范围为±0.1 mm,测量分辨力为0.075 μm,线性度误差约为0.45 μm.

关键词：光学测头、动态主动调焦法、调焦式时间差测量方法

所属期刊栏目：38

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50075064

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：405-410