薄孔壁厚和小孔径测量系统

摘要：

由于相邻孔壁厚度的测量根据进刀量进行计算时精度很低,故提出了一种应用电容传感器对2个微小孔间相邻孔壁进行精密测量的系统.基于非接触式电容测孔传感器,研究了测头的电场边缘效应影响及保护环的宽度选择,设计了电容瞄准测孔传感器的测头对相邻小孔中心定位,利用电容差动测厚传感器测量孔壁.系统由1个瞄准测孔传感器和2个差动测厚传感器及三通道测量电路组成,处理数据后直接显示孔径和孔间壁厚.系统属非接触测量,无需修正测头及工件变形误差.实验证明,测量精度为0.5 μm.

关键词：电容传感器、非接触测量、孔径、孔壁

所属期刊栏目：37

分类号：TH89

在线出版日期：2004-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：914-917