微面形貌光电观测系统的光学结构

摘要：

针对微小面积,特别是微小"盲孔"底面形貌的非接触精密检测,提出了一种基于直接成像原理的光学结构.采用内窥式镜头解决数值孔径受限问题;通过定变焦距镜头组合达到低倍定位和高倍分析要求;利用光学微扫描器实现扫描瞄准功能.针对FC、SC光纤连接器构造设计,探测头可深入内径2.5 mm盲孔,设计分辨率达到600lp/mm,主要应用于光纤端面检测、精密制造和临床诊断等领域.

关键词：盲孔、微小表面、光电检测、光纤端面检测

所属期刊栏目：37

分类号：O435(光学)

资助基金：天津市自然科学基金60377031

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：733-736