TiAlBN多元膜的性能与组织结构研究

摘要：

采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构,结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴;双靶工作状态下,这些钛滴与膜之间的融合效果较好,膜层表面孔隙较少;薄膜具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.

关键词：多元膜、氮化物、电弧离子镀

所属期刊栏目：21

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29