圆形质量块/柔性电极MEMS万向触发开关

摘要：

针对现有MEMS惯性开关各向响应不一致和闭合时间短等问题,设计了一个采用周边弹簧支撑中心圆形质量块、柔性支撑固定电极结构形式的引信用MEMS万向触发开关.仿真结果表明,开关响应时间不大于300μs.由于采用圆形质量块,开关对0°～90°不同着角的冲击都能可靠响应；由于采用柔性电极,开关的闭合时间从小于10μs延长到30μs以上.

关键词：引信、MEMS、万向开关、柔性电极万

所属期刊栏目：35

分类号：TJ430(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2013-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14