基于光反射传感器的微结构运动参数测试方法

摘要：

针对现有MEMS微结构运动参数测试算法复杂、实验条件苛刻的问题,提出一种非接触式光电测试方法,采用高精密光反射型传感器进行信号探测,经信号处理后获得待测参数.实际测量表明:该方法的实测分辨力优于100 μm,可对引信的微钟表机构、微滑块机构等的运动参数进行测试,结构简单,成本低廉,适用于引信微机构运动特性的测量.

关键词：微结构、运动参数检测、非接触测量

所属期刊栏目：33

分类号：TJ430.6(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9