基于LIGA工艺的微齿轮误差特点

摘要：

不同加工方法所产生的误差会有不同特点,鉴于未见MEMS领域误差特点研究的文献,采用采样设计对比法检测了微型齿轮的齿顶圆半径偏差、齿根圆半径偏差、齿厚偏差和齿形误差.对误差进行的统计表明:LIGA工艺加工微齿轮和微齿轮孔的误差偏向均为负向,且加工微齿轮孔的误差要大于微齿轮,设计复杂孔和轴时预留的单边余量应为15 μm.分析表明,这些特点与加工方法导致的误差产生原因是吻合的.

关键词：LIGA、微齿轮、误差

所属期刊栏目：32

分类号：TJ410.3(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2010-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64