电容式微机械静电伺服加速度计模型建立

摘要：

阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度,由此建立各方向上的运动方程,并给出各参数的计算公式,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础.

关键词：微机械加速度计、模型、方程、参数

所属期刊栏目：25

分类号：TH824.4

资助基金：国防科技预研基金5.3.9

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33