氮化物硬质薄膜残余应力的研究进展

摘要：

文章讨论了几种薄膜残余应力测试方法的优缺点,介绍了氮化物薄膜应力沿层深分布趋势的最新研究,偏压和N2分压工艺对薄膜应力的影响及几种调节薄膜残余应力的有效方法.脉冲偏压增大,薄膜残余应力显著增加;N2分压增大,薄膜残余应力显著增加.采用独立变化脉冲偏压或变化N2分压工艺制备的薄膜,其残余应力沿层深分布趋势明显均匀,薄膜残余应力可得到有效调整.

关键词：残余应力、应力分布、氮化物硬质薄膜

所属期刊栏目：12

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：广东省自然科学基金资助项目编号S2011040004468

在线出版日期：2013-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：64-69,74