N2分压对（Ti，A1）N涂层成分、结构及力学性能的影响水

摘要：

采用电弧离子镀工艺，调节N2分压制备了系列（Ti，A1）N硬质涂层，研究了不同N2分压对涂层表面形貌、相结构、成分及力争性能的影响．结果表明，当氮气分压较低时，涂层金属相含量较高，涂层硬度和残余应力较低，膜／基结合力较高，涂层耐磨性较差；当氮气分压较高时，涂层氮化物相含量较高，涂层硬度和残余应力较高，膜／基结合力偏低，涂层耐磨性很强．

关键词：(Ti、A1)N、电弧离子镀、N2分压

所属期刊栏目：11

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：广东省自然科学基金资助项目N0.S2011040004468

在线出版日期：2012-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54