基于ANSYS的压电换能器有效机电耦合系数的仿真分析

摘要：

研究了双层压电悬臂梁的工作原理及其有效机电耦合系数，借助ANSYS软件并选用Solid5（压电材料），Solid45（中间金属层），Circu94（电阻）3种元素类型建立压电换能器的有限元模型，通过谐振仿真分别求出压电装置的短路和开路谐振频率，得到其有效机电耦合系数．仿真结果表明，压电装置的有效机电耦合系数要小于压电材料的耦合系数，且与理论计算结果基本一致，仿真方法可有效地评价压电换能器的工作性能，并为后续实验提供理论指导．

关键词：压电、仿真、机电耦合系数

所属期刊栏目：11

分类号：TN304.9(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-12