双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析

摘要：

由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列(FPA)是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术.通过对Al/ SiNx 双材料体系的理论分析,得出了微悬臂梁的热机械性能与双层梁的厚度比之间的关系.

关键词：双金属微悬臂梁、热机械性能、弯曲变形

所属期刊栏目：6

分类号：TH741.8(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：18-20