溶胶凝胶法制备透明导电ZnO∶Al薄膜的研究

摘要：

以乙酸锌、乙醇胺、九水合硝酸铝为原料,对溶胶凝胶方法制备AZO薄膜的方法进行了改进,利用提拉浸渍法制备薄膜,得到了成膜效果良好的多层AZO透明导电薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、电阻测试装置,研究了Al的掺杂量、退火温度以及薄膜层数等工艺参数对薄膜结构和光电性能的影响.确定了最佳光电性能的AZO薄膜制备方案:Al掺杂浓度1％,退火温度550℃,涂膜层数为15层.

关键词：AZO薄膜、溶胶凝胶法、光电性能

所属期刊栏目：32

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：宿州学院自旋电子与纳米材料安徽省重点实验室开放课题资助”静电纺丝制备TiO2/ZnO壳核结构及其在光伏器件的应用”2014YKF50

在线出版日期：2017-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：110-113