扫描电镜下的数字散斑相关方法及其应用

摘要：

对数字散斑相关方法(digital speckle correlation method, DSCM)在扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)下的应用进行了研究.将DSCM与带电液伺服试验系统的SEM结合起来,对二者结合的过程进行了分析,实现了SEM下细微观变形场的测量,扩展了DSCM和SEM的应用范围.为了定量地把握SEM在扫描图像时放大倍数的不稳定性、非线性和内部噪声对DSCM的影响,还对SEM下的DSCM精度和误差进行了实验分析.统计结果表明,SEM下应用DSCM进行变形场的测量,其位移测量误差最大可达2像素,其精度可以满足一般变形场测量的需要.作为应用实例,对混凝土试件在SEM下的断裂行为进行了研究,得到了混凝土试件表面随着载荷的变化而变化的表面细观变形场.

关键词：数字散斑相关方法、扫描电镜、混凝土、变形场

所属期刊栏目：21

分类号：O3(力学)

资助基金：国家研究发展基金2002CB412705;国家高技术研究发展计划863计划10372112;北京市重点实验室基金SYS102900438

在线出版日期：2006-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：135-143