光学读出室温物体红外成像

摘要：

光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形.本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm).用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像.该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K.

关键词：微悬臂梁、非制冷、红外成像、光学读出

所属期刊栏目：20

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金10232030;国家自然科学基金50076040,10472111

在线出版日期：2005-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：213-218