SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用

摘要：

本文提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0～2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度.同时对SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述.并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中.实验结果证明了该方法的可行性,该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径.

关键词：SEM扫描云纹法、相移技术、MEMS、应变

所属期刊栏目：17

分类号：O348(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金19472038

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：254-259