机械特种加工教学案例:超声化学机械抛光实验

摘要：

针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例"超声化学机械抛光(UVCMP)实验".通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器表征样品特性;对蓝宝石UVCMP作用机理进行了深入探讨.该实验有利于学生激发科研兴趣,培养科研素养,启迪创新思维.

关键词：本科生、教学改革、超声波特种加工、大型科研项目、蓝宝石衬底

所属期刊栏目：40

分类号：TH16

资助基金：江西省高等学校教学改革研究课题;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：209-214