基于过渡金属硫化物的存储器研究型创新实验设计

摘要：

实验教学是高校人才培养的重要环节,如何将科研内容融入实验教学是培养学生创新素养的关键.在信息化时代,数据类型多样化及其容量的急剧增长对存储器的要求越来越高.基于过渡金属硫化物的存储器件因具有较好的存储能力和较高的集成密度成为存储器领域的研究热点.因此,该文设计了基于过渡金属硫化物WS2存储器的研究型创新实验.采用机械剥离和干法转移制备了 WS2场效应晶体管(FET),采用拉曼光谱对WS2进行表征,利用氧等离子体处理SiO2表面引入界面态来实现多位数据存储,并进一步对存储器的电学特性和存储性能进行了测试.该创新实验涵盖了材料表征、存储器件制备、电学和存储特性测试以及机理分析等过程,涉及半导体、材料学、微电子和集成电路多个学科领域,且能结合实际科研内容,可极大地提高学生的科研积极性,有利于培养学生的科研思维和创新能力.

关键词：WS2存储器、电学特性、存储性能、研究型创新实验

所属期刊栏目：40

分类号：TN386.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金62074064

在线出版日期：2023-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19