任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学

摘要：

为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性,进一步提升教学质量,培养专业领域创新人才,建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源.基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD,对半导体工艺仿真软件、器件模拟软件和版图设计软件进行二次开发,包含掩模板设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计4部分.该虚拟仿真实验具备自主开发、理念先进、综合性、创新性和工程性强等优点,为复杂理论实践教学提供了典型案例.

关键词：任意横向掺杂、半导体功率器件、掩模版设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计

所属期刊栏目：39

分类号：O-439

资助基金：国家自然科学基金;江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目;南京邮电大学实验室工作研究课题

在线出版日期：2022-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：104-110