开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设

摘要：

开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求.根据这类实验室的特点,该文针对开放式微纳加工实验室的危化品规范化管理进行了探讨,为实验室安全运行打下了很好的基础.

关键词：微纳加工实验室、危化品管理、特种气体

所属期刊栏目：37

分类号：X921;G642.0(安全管理（劳动保护管理）)

资助基金：2018年度上海研发公共服务平台建设资助项目;上海交通大学决策咨询课题资助项目

在线出版日期：2021-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：292-294,322