基于原子力显微分析技术研究全息光栅结构与性能的关系

摘要：

全息光栅的微观结构决定了其光学性能,研究微观结构与性能的关系对优化全息光栅性能具有重要的理论和实际意义.采用德国Bruker公司的原子力显微镜Multimode 8系统分析了一批全息光栅的微纳结构,并探讨了微纳结构与全息光栅衍射效率的关系.结果 表明:光栅沟槽顶部粗糙度与沟槽深度的比值更能体现衍射效率与光栅微观结构的相关性.当该比值高于0.09时,全息光栅的衍射效率低于60％;而当该比值低于0.04时,全息光栅的衍射效率高于80％.

关键词：原子力显微镜、全息光栅、结构与性能

所属期刊栏目：37

分类号：Q766

资助基金：国家自然科学基金资助项目51773070

在线出版日期：2020-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-33,39