开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨

摘要：

大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段.该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考.

关键词：微纳加工平台、开放式平台、管理模式

所属期刊栏目：37

分类号：G482(学校建筑和设备的管理)

在线出版日期：2020-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：229-232