聚焦光系统的X衍射仪对薄膜样品的掠入射衍射研究

摘要：

采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量.实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、晶胞参数等精确信息.其独特之处在于可以区分表层和非表层的物相,尤其是对挨得很近、难以分开的两个物相.该方法适于掠入射角＜2°的超表面物相分析.

关键词：薄膜、X衍射仪、掠入射、聚焦光系统

所属期刊栏目：37

分类号：TB383;TH744.15(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金项目51571003

在线出版日期：2020-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：109-112