基于双ARM的频率调制原子力显微镜

摘要：

设计了基于双A RM的频率调制原子力显微镜,以石英音叉探针作为力传感器,由自激励电路驱动探针振动在实时的共振频率处,并保持振幅恒定;采用两块ARM Cortex-M4内核的高性能微控制器进行频率解调和系统控制,频率解调采用软件锁相环设计,控制系统采用嵌入式实时操作系统CMSIS-RTOS RTX进行任务管理和调度,保证了系统的实时性.对标准样品进行扫描表明,该系统可以稳定工作.该频率调制原子力显微镜具有小型化、低成本的优势,可以被应用于教学实验.

关键词：频率调制原子力显微镜、石英音叉探针、ARM

所属期刊栏目：35

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目61771033

在线出版日期：2018-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：107-110