硅基AlNMEMS振动能量收集器实验设计

摘要：

设计了基于压电效应的硅基AlNMEMS(微机械系统)振动能量收集器实验.从实践教学的角度,全面系统地介绍了能量收集器的基本原理、AlN压电薄膜的制备、能量收集器兼容加工工艺流程的设计及优化到原理样机的研制及性能测试,为解决目前传统电源无法满足无线传感网络节点供能的瓶颈问题提供了有效的途径.同时,该实验的成功开展对于仪器科学与技术以及微电子学专业硕士及博士研究生的培养起到了积极的促进的作用.

关键词：微能源、压电效应、氮化铝压电薄膜、实践教学

所属期刊栏目：35

分类号：TM919;G484

资助基金：国家863计划项目2015AA042603;中央高校基本科研项目106112017CDJXY120006

在线出版日期：2018-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：113-116