多功能键合仪研制及在教学中的应用

摘要：

对硅/玻璃阳极键合进行了实验技术研究,阐述了实验设计思路;确定了实验的内容和方法,据此研制出能直观显示硅/玻璃界面键合情况以及键合电流-时间曲线的多功能键合实验仪.通过键合操作、现象观察和深入分析,使学生更加深入了解键合机理、掌握影响键合效果与效率的主要因素.该实验技术有助于提升学生的动手能力、分析能力以及综合素质.

关键词：阳极键合、教学实验、键合仪、电流监测

所属期刊栏目：34

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：黑龙江省自然科学基金项目E200917;哈尔滨工业大学教学实验室建设项目

在线出版日期：2017-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-38,90