提高石英音叉钨丝探针制作成材率

摘要：

针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题，提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进，提高了钨丝针尖的成材率；钨丝探针粘接装置的开发极大地避免了人为因素的干扰，提高了针尖粘接的效率。最后通过实验来验证腐蚀方法及粘接装置的可行性。

关键词：原子力显微镜、石英音叉钨丝探针、工艺改良、粘接装置

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目61371008;北京市自然科学基金项目4132038;北京航空航天大学重大教学改革项目2013

在线出版日期：2016-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37