TiO2覆膜层厚度的拉曼光谱测定

摘要：

为解决T iO2覆膜层厚度值测定和验证问题，采用拉曼光谱一维线扫描技术，对金红石型T iO2覆膜的厚度和物相进行了测定。研究表明，通过金红石型T iO2位于610 cm－1处的峰A1 g振动的拉曼谱峰强度信息，无损测得了微米级金红石型T iO2覆膜的厚度。

关键词：金红石型二氧化钛、覆膜厚度、拉曼光谱扫描

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2015-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51