微电子教学实验室建设的探索与实践

摘要：

为适应微电子产业的高速发展,高校的微电子实验室建设及实验教学对专业人才的培养发挥着极其重要的作用.微电子实验室建设主要包括微电子设计实验室和微电子工艺实验室.实验教学开设了集成电路设计综合实验和微电子工艺综合实验.学生在此完成集成电路芯片设计、制造的整个过程,并对制造的芯片进行测试和分析.微电子实验室的建设提供了优质的教学平台,将理论与实践结合、创新与实践结合,培养了学生分析问题、解决问题的能力.

关键词：微电子实验室、集成电路设计、微电子工艺、实验教学

所属期刊栏目：32

分类号：G482(学校建筑和设备的管理)

资助基金：国家自然科学基金项目61404021;教育部高等学校本科教学改革与教学质量工程项目“专业综合改革试点——集成电路设计与集成系统专业”教高函[2012]2号;四川省高等教育人才培养质量和教学改革项目“面向卓越工程师计划的微电子工艺实验实践教学改革的研究”川教函[2014] 450号;电子科技大学本科教育教学改革研究项目2013XJYYL019

在线出版日期：2015-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：239-242