薄膜太阳能光伏器件工艺制备及测试实验教学平台

摘要：

采用磁控溅射和真空热蒸镀方法制备薄膜太阳能电池并测试其光伏性能，使学生了解薄膜太阳能电池的结构及制备工艺，熟悉Keithley半导体测试仪的使用方法，绘制薄膜太阳能电池的电流电压曲线，计算薄膜太阳能电池的各项性能参数，通过对薄膜太阳能电池中每一层薄膜的制备和功能的分析，理解薄膜太阳能电池的结构和工作原理，并运用于工艺实验环节，着力提升学生的创新实践能力。

关键词：薄膜太阳能电池、实验教学平台、磁控溅射、创新实践能力

分类号：G642.0(高等教育)

在线出版日期：2014-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：183-185,228