电化学腐蚀制备原子力显微镜探针

摘要：

研究了实验室条件下采用电化学腐蚀方法制备原子力量微镜探针的工艺及实验参数对探针腐蚀精细程度的影响。实验设备虽然简单，但能制备出实用的探针。在制备过程中变量较多，可操作性强，使学生能深刻理解探针与样品表面相互作用过程，并对原子力显微镜的应用有初步的了解。

关键词：原子力显微镜、探针制备、电化学腐蚀

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目61371008；北京市自然科学基金项目4132038

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35