硅MEMS加速度传感器教学实验平台构建

摘要：

基于硅MEMS （micro-electromechanical systems）加速度传感器体积小（微米量级）、工作原理较抽象、课堂教学接受较困难等问题，构建了硅M EM S加速度传感器教学实验平台。该实验平台主要由加速度信号发生装置、高性能石英振梁加速度传感器、M EM S加速度传感器芯片、A/D转换电路、单片机数据采集及处理电路、液晶显示装置等组成。加速度信号发生装置提供不同的加速度信号。高性能石英振梁加速度传感器用于对M EM S加速度传感器的测试结果进行比对。测试结果表明，该实验平台性能良好，能够满足实验要求。该实验平台不但强化了对学生动手能力的培养，体现了实验教学与课堂教学的结合，也为传感器技术及应用、误差理论与数据处理等课程提供了重要支持。

关键词：实验平台、MEMS加速度传感器、数据采集

分类号：G642.423;TP212.1(高等教育)

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：76-78