硅基质上图案化金膜的制备

摘要：

介绍了一项材料化学综合实验.该实验利用紫外光刻技术在硅基底上制备出图案化的金膜,采用冷热台偏光显微镜对硅片上图形的质量进行检查.通过该实验,不仅可以了解光刻技术的相关基础知识,掌握图案化金膜的常见制备方法和常用表征手段,还能在后续的实验中以图案化Au膜作为模板,设计制备出多种图案化的半导体、聚合物纳米结构.该实验可以在本科生及研究生实验教学中推广.

关键词：图案、金膜、光刻、硅基质

所属期刊栏目：30

分类号：TQ577.3

资助基金：新疆维吾尔自治区高校科研重点项目XJEDU2009I01;新疆大学博士启动基金BS100110

在线出版日期：2013-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46