溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的结构及特性研究

摘要：

利用溶胶-凝胶法制备了氧化钒薄膜,在大气环境及400℃下、对产物进行不同时间的退火处理.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性等进行了系统的分析.结果表明,退火时间明显地影响溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的化学结构及光电性能:退火时间过短,薄膜中有机成分不能完全分解、并且结晶度低；退火1h时,薄膜主要成分为V2 O5和VO2,此时薄膜电阻低、但光吸收性弱；退火2h以上,薄膜中的主要成分为V2O5,此时薄膜电阻变大、但光吸收性有所加强.研究了退火时间对溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜的化学结构及光电特性的影响,揭示了相关的微观机理.

关键词：氧化钒薄膜、溶胶-凝胶、退火

所属期刊栏目：30

分类号：TB43;TN213(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金"太赫兹室温探测器的基础研究"61071032资助课题

在线出版日期：2013-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38