双层透明薄膜制备及氧含量对折射率影响研究

摘要：

利用磁控溅射技术在玻璃基片上分别沉积ZnOx薄膜、TiO2-y薄膜和TiO2-y/ZnOx双层透明薄膜,改变薄膜沉积过程中的氩气(Ar)和氧气((O2)的比例,获得具有不同氧含量的ZnOx薄膜和TiO2-y薄膜.采用椭偏仪测定所有样品的折射率,仔细研究薄膜中氧含量对折射率的影响.分别选择具有较大的折射率TiO2-y薄膜和具有较小的折射率ZnOx薄膜的生长条件,制备TiO2-y/ZnOx双层薄膜,获得光密媒质/光疏媒质双层结构,并观察到He-Ne激光从ZnOx薄膜入射到TiO2-y/ZnOx界面上发生的全反射现象.研究成果适用于大学生物理实验中的研究型实验或大学创新实验.

关键词：透明薄膜、磁控溅射技术、全反射

所属期刊栏目：29

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项基金2009JBM098;北京市自然科学基金2113050

在线出版日期：2012-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38