TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究

摘要：

针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术( TCAD)进行虚拟实验教学的方法.该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充.介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路.

关键词：TCAD技术、微电子实验教学、虚拟实验

所属期刊栏目：29

分类号：G434;N45(电化教育)

资助基金：扬州大学自然科学基金资助项目2006XJJ02;扬州大学教改基金资助项目2011-12

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80